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微波等离子体的优势有哪些呢

点击次数:164 发布时间:2018-07-27

微波等离子体是在大气压环境下产生的一种微等离子体,它被广泛应用于气相色谱中原子发射光谱激发源。微波带技术的使用不仅可以将微波精确指向间隙区,同时也减少了不必要的外空间辐射损失,有利于耦合效率的提高,从而获得高密度等离子体。
 
那么微波等离子体的优势有哪些呢?
 
1.有较高的电离和分解程度; 
2.电子温度和离子温度对中性气体温度之比非常高,运载气体保持合适的温度。这个特性,在气相沉积的情况下,可使基底的温度不会过高;
3.能在高气压下维持等离子体;
4.没有内部电极,在等离子容器内,没有工作气体以外的任何物质,是洁净的,无污染源。等离子发生器可以保持长寿命;
5.等离子可以采用磁约束的方法,约束在约定的空间内,微波结和磁路可以兼容;
6.安全因素高。高压源和等离子体发生器互相隔离,这是直流等离子体不能达到的。微波泄漏小,容易达到辐射安全标准。这是高频感应等离子体难以达到的;
7.微波发生器是稳定的,易控的;
8.微波等离子体,在许多情况下是一种比较宁静的等离子体,不象直流放电那样伴随很高的噪声级。
 
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